2019年1月15日，德国ltb极高分辨率中阶梯光栅光谱仪- elias-iii 和 极高绝对波长精度测量校准监控光谱仪- elias-wavemeter 在上海微电子装备(集团)股份有限公司（smee）顺利完成安装调试工作，为中国紫外光刻产业助力。
elias-iii
elias系列是世界领先的中阶梯光栅光谱仪，在利特罗（littrow）结构中拥有最高的光谱解析能力-用于高分辨率的发射和吸收谱线的分析，尤其是准分子激光光刻技术。其中elias-iii提供四倍色散光程，分辨率水平是elias-i的四倍；
· intensity dynamics of up to 4 orders
· 最高光谱解析能力 (2.5 million-10 million)
· 极高成像质量
· 简单没有失误的操作控制
· motorized optomechanics
elias-wavemeter
elias-wavemeter在elias-i的基础上提供了真空光学腔室及相关空心阴极灯做为校准基准，可提供0.1pm的绝对波长精度，提供目前业界最高级别的绝对波长测量、校准、监控。
