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elias-iii

发射谱线分析光谱仪系列

世界最高分辨率的中阶梯光栅光谱仪

世界领先的中阶梯光栅光谱仪，在利特罗（littrow）结构中拥有最高的光谱解析能力-用于高分辨率的发射和吸收谱线的分析，尤其是准分子激光光刻技术。

    · intensity dynamics of up to 4 orders

    · 最高光谱解析能力 (2.5 million-10 million)

    · 极高成像质量

    · 简单没有失误的操作控制

    · motorized optomechanics

elias的超高分辨率得益于超大中阶梯光栅的应用及与之匹配的光路设计——中阶梯光栅通过非常高的衍射级次可获得极高的理论分辨率（femtometer level）；ltb的工程师通过两个方面的设计实现超大中阶梯光栅的理论分辨率：    

    · 逼近衍射极限的消色差成像光路

    · 足够高的线色散来确保以5~10个像素（ccd）来解析光谱谱线的半高宽；

elias利用宽达360mm的超大中阶梯光栅（echelle grating）以利特罗（littow）自准直结构构成光路；elias不同于靠干涉方式测量光谱的分析设备，elias的中阶梯光栅的高衍射级次及高级次等效于零级的衍射能量分布，可通过ccd实现宽光谱直拍，因此elias非常适合脉冲激光光谱的分析应用（通过外部ttl触发可协同激光器工作）。elias可以配置背照型科学级ccd作为探测器可获得非常理想的信噪比（10⁴）

规格参数（specifications）  

elias iii : 集成了反光镜的eliasii的增强型，可以使用四次中阶梯光栅，使得其光谱分析能力是eliasii的四倍。

应用领域（application）

    · 激光诱导击穿光谱（libs）

    · 准分子激光光刻技术

    · 测量二极管激光器的光谱、时间稳定度和固态激光器的发射谱线

光谱样图（spectrum sample figure）

        暂无样图

相关资料下载（data download）

        elias系列产品资料.pdf

        ltb-中阶梯光栅光谱仪.pdf

相关视频（video）

由elias系列光谱仪观测到的hene激光纵模的模式竞争：

产品新闻（product news）                                                                                      

    -- ltb飞米级极高精度光谱分辨技术助力中国紫外光刻产业部      ----------2019-01-15