elias 家族极高分辨率发射谱线分析光谱仪 ·

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elias-i/-ld 系列中阶梯光谱仪

• 光 阑：f/50 • 光谱解析能力：2.5 mio.-10 mio. (λ/∆λfwhm) • 最大波长范围：157-1,100 nm (λmax range) • 同步探测范围：8-400 pm (λsimul) • 波 长 范 围：190-550 nm (λtyp) • 分 辨 率：85-240 fm (fwhm)

  • 产品简介

elias-i/-ld

发射谱线分析光谱仪系列

世界最高分辨率的中阶梯光栅光谱仪

 

世界领先的中阶梯光栅光谱仪，在利特罗（littrow）结构中拥有最高的光谱解析能力-用于高分辨率的发射和吸收谱线的分析，尤其是准分子激光光刻技术。

    · intensity dynamics of up to 4 orders

    · 最高光谱解析能力 (2.5 million-10 million)

    · 极高成像质量

    · 简单没有失误的操作控制

    · motorized optomechanics

elias光学方案.jpg

elias的超高分辨率得益于超大中阶梯光栅的应用及与之匹配的光路设计——中阶梯光栅通过非常高的衍射级次可获得极高的理论分辨率（femtometer level）；ltb的工程师通过两个方面的设计实现超大中阶梯光栅的理论分辨率：    

    · 逼近衍射极限的消色差成像光路

    · 足够高的线色散来确保以5~10个像素（ccd）来解析光谱谱线的半高宽；

elias利用宽达360mm的超大中阶梯光栅（echelle grating）以利特罗（littow）自准直结构构成光路；elias不同于靠干涉方式测量光谱的分析设备，elias的中阶梯光栅的高衍射级次及高级次等效于零级的衍射能量分布，可通过ccd实现宽光谱直拍，因此elias非常适合脉冲激光光谱的分析应用（通过外部ttl触发可协同激光器工作）。elias可以配置背照型科学级ccd作为探测器可获得非常理想的信噪比（104）

 

 

规格参数（specifications）  

 

 

可探测信号模式

cw/pulsed

最大可探测光谱范围

190~1100nm(157nm possible)

最高光谱解析能力(λ/∆λ)

8,800,000

最高光谱分辨率

22fm@193nm
最高绝对光谱精度 0.1pm
最大光谱窗口

>0.8nm
最低可探测脉冲能量

<10μj

信号输入模式

fiber，sma，mirror，free space

校准方式

full auto/manual；hg（neon）lamp

触发模式

ttl 5v
工作环境要求

温度：10~30℃；湿度：<65%


elias i : elias 系列的标准版

elias ld : elias 系列的低色散型号，that does not resolve the halfwidths of the lines with 5 to 10 pixels but instead the free spectral range could be trebled without considerably decreasing the spectral resolving capability compared to elias i

 

model elias i
 elias-ld
pass single double single double
wavelength [nm] λsimul [pm] λsimul [pm] λsimul [pm] λsimul [pm]
157 45 14 152 49
193 48 15 170 52
248 64 20 227 71
266 73 25 275 92
532 146 49 551 185
766 244 82 846 293
1,064 292 98 – 626
wavelength [nm] fwhm [pm] fwhm [pm] fwhm [pm] fwhm [pm]
157 0.254 0.083 0.31 0.10
193 0.283 0.086 0.34 0.11
248 0.376 0.117 0.46 0.15
266 0.428 0.147 0.55 0.19
532 0.856 0.294 1.10 0.37
766 1.400 0.482 1.70 0.59
1,064 1.711 0.588 – 1.25

 

 

应用领域（application）

    

    · 激光诱导击穿光谱（libs）

    · 准分子激光光刻技术

    · 测量二极管激光器的光谱、时间稳定度和固态激光器的发射谱线

 

 

光谱样图（spectrum sample figure）

 

    

        暂无样图

 

 

相关资料下载（data download）

 

 

        elias系列产品资料.pdf

    

        ltb-中阶梯光栅光谱仪.pdf