elias 家族极高分辨率发射谱线分析光谱仪 ·

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elias-iii 系列中阶梯光谱仪

• 光 阑：f/50 • 光谱解析能力：2.5 mio.-10 mio. (λ/∆λfwhm) • 最大波长范围：157-1,100 nm (λmax range) • 同步探测范围：8-400 pm (λsimul) • 波 长 范 围：190-550 nm (λtyp) • 分 辨 率：85-240 fm (fwhm)

  • 产品简介

elias-iii

发射谱线分析光谱仪系列

世界最高分辨率的中阶梯光栅光谱仪

 

世界领先的中阶梯光栅光谱仪，在利特罗（littrow）结构中拥有最高的光谱解析能力-用于高分辨率的发射和吸收谱线的分析，尤其是准分子激光光刻技术。

    · intensity dynamics of up to 4 orders

    · 最高光谱解析能力 (2.5 million-10 million)

    · 极高成像质量

    · 简单没有失误的操作控制

    · motorized optomechanics

elias光学方案.jpg

elias的超高分辨率得益于超大中阶梯光栅的应用及与之匹配的光路设计——中阶梯光栅通过非常高的衍射级次可获得极高的理论分辨率（femtometer level）；ltb的工程师通过两个方面的设计实现超大中阶梯光栅的理论分辨率：    

    · 逼近衍射极限的消色差成像光路

    · 足够高的线色散来确保以5~10个像素（ccd）来解析光谱谱线的半高宽；

elias利用宽达360mm的超大中阶梯光栅（echelle grating）以利特罗（littow）自准直结构构成光路；elias不同于靠干涉方式测量光谱的分析设备，elias的中阶梯光栅的高衍射级次及高级次等效于零级的衍射能量分布，可通过ccd实现宽光谱直拍，因此elias非常适合脉冲激光光谱的分析应用（通过外部ttl触发可协同激光器工作）。elias可以配置背照型科学级ccd作为探测器可获得非常理想的信噪比（104）

 

 

规格参数（specifications）  

 

 

可探测信号模式

cw/pulsed

最大可探测光谱范围

190~1100nm(157nm possible)

最高光谱解析能力(λ/∆λ)

8,800,000

最高光谱分辨率

22fm@193nm
最高绝对光谱精度 0.1pm
最大光谱窗口

>0.8nm
最低可探测脉冲能量

<10μj

信号输入模式

fiber，sma，mirror，free space

校准方式

full auto/manual；hg（neon）lamp

触发模式

ttl 5v
工作环境要求

温度：10~30℃；湿度：<65%


elias iii : 集成了反光镜的eliasii的增强型，可以使用四次中阶梯光栅，使得其光谱分析能力是eliasii的四倍。

 

model elias iii
pass quadruple
wavelength [nm] λsimul [pm]
157 -
193 8.4
248 11.5
266 15
532 29.9
766 47.5
1,064 101
wavelength [nm] fwhm [pm]
157 -
193 0.022
248 0.032
266 0.042
532 0.084
766 0.130
1,064 0.165

 

 

应用领域（application）

    

    · 激光诱导击穿光谱（libs）

    · 准分子激光光刻技术

    · 测量二极管激光器的光谱、时间稳定度和固态激光器的发射谱线

 

 

光谱样图（spectrum sample figure）

 

        暂无样图

 

 

相关资料下载（data download）

 

 

        elias系列产品资料.pdf

    

        ltb-中阶梯光栅光谱仪.pdf

 

 

相关视频（video）

 

由elias系列光谱仪观测到的hene激光纵模的模式竞争：

 

 

产品新闻（product news）                                                                                      

    -- ltb飞米级极高精度光谱分辨技术助力中国紫外光刻产业部      ----------2019-01-15