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elias 家族极高分辨率发射谱线分析光谱仪 ·

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elias-i/-ld 系列中阶梯光谱仪

• 光 阑:f/50 • 光谱解析能力:2.5 mio.-10 mio. (λ/∆λfwhm) • 最大波长范围:157-1,100 nm (λmax range) • 同步探测范围:8-400 pm (λsimul) • 波 长 范 围:190-550 nm (λtyp) • 分 辨 率:85-240 fm (fwhm)

  • 产品简介

elias-i/-ld

发射谱线分析光谱仪系列

世界最高分辨率的中阶梯光栅光谱仪


世界领先的中阶梯光栅光谱仪,在利特罗(littrow)结构中拥有最高的光谱解析能力-用于高分辨率的发射和吸收谱线的分析,尤其是准分子激光光刻技术。

    · intensity dynamics of up to 4 orders

    · 最高光谱解析能力 (2.5 million-10 million)

    · 极高成像质量

    · 简单没有失误的操作控制

    · motorized optomechanics

elias光学方案.jpg

elias的超高分辨率得益于超大中阶梯光栅的应用及与之匹配的光路设计——中阶梯光栅通过非常高的衍射级次可获得极高的理论分辨率(femtometer level);ltb的工程师通过两个方面的设计实现超大中阶梯光栅的理论分辨率:    

    · 逼近衍射极限的消色差成像光路

    · 足够高的线色散来确保以5~10个像素(ccd)来解析光谱谱线的半高宽;

elias利用宽达360mm的超大中阶梯光栅(echelle grating)以利特罗(littow)自准直结构构成光路;elias不同于靠干涉方式测量光谱的分析设备,elias的中阶梯光栅的高衍射级次及高级次等效于零级的衍射能量分布,可通过ccd实现宽光谱直拍,因此elias非常适合脉冲激光光谱的分析应用(通过外部ttl触发可协同激光器工作)。elias可以配置背照型科学级ccd作为探测器可获得非常理想的信噪比(104



规格参数(specifications)  



可探测信号模式

cw/pulsed

最大可探测光谱范围

190~1100nm(157nm possible)

最高光谱解析能力(λ/∆λ)

8,800,000

最高光谱分辨率

22fm@193nm

最高绝对光谱精度0.1pm
最大光谱窗口

>0.8nm

最低可探测脉冲能量

<10μj

信号输入模式

fiber,sma,mirror,free space

校准方式

full auto/manual;hg(neon)lamp

触发模式

ttl 5v

工作环境要求

温度:10~30℃;湿度:<65%


elias i : elias 系列的标准版

elias ld : elias 系列的低色散型号,that does not resolve the halfwidths of the lines with 5 to 10 pixels but instead the free spectral range could be trebled without considerably decreasing the spectral resolving capability compared to elias i

modelelias i
elias-ld
passsingledoublesingledouble
wavelength [nm]λsimul [pm]λsimul [pm]λsimul [pm]λsimul [pm]
157451415249
193481517052
248642022771
266732527592
53214649551185
76624482846293
1,06429298626
wavelength [nm]fwhm [pm]fwhm [pm]fwhm [pm]fwhm [pm]
1570.2540.0830.310.10
1930.2830.0860.340.11
2480.3760.1170.460.15
2660.4280.1470.550.19
5320.8560.2941.100.37
7661.4000.4821.700.59
1,0641.7110.5881.25



应用领域(application)

    

    · 激光诱导击穿光谱(libs)

    · 准分子激光光刻技术

    · 测量二极管激光器的光谱、时间稳定度和固态激光器的发射谱线



光谱样图(spectrum sample figure)

    

        暂无样图



相关资料下载(data download)


        ltbelias系列产品资料.pdf

    

        ltbltb-中阶梯光栅光谱仪.pdf



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